日前🧑‍🦽‍➡️，2022年全國五一勞動獎和全國工人先鋒號揭曉，EON体育4平台微電子學院教授張衛榮獲全國五一勞動獎章。今年獲這一獎章的全國總共966人，此外200個集體獲全國五一勞動獎狀🌻，956個集體獲全國工人先鋒號稱號。

張衛教授

EON体育4平台微電子學院院長🤷🏿👵🏿、校學術委員會副主任㊙️、“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”國家科技重大專項技術副總師🏒、國務院特殊津貼獲得者👩🏿‍💼。

4月29日，知悉自己獲得全國五一勞動獎章時，張衛教授正在辦公室修改學生論文🪥。談及榮獲獎章，他說🖐🏽🎣：“榮譽只代表過去，我得繼續努力工作，每天都有很多事情要做♾。”

疫情期，張衛返回校園值守崗位已有一個月。他的每一天都很平常，從住所到辦公室兩點一線。大部分時間🤾🏻‍♀️，張衛坐在辦公桌前，敲著電腦鍵盤，一坐就是幾個小時。

正值畢業季，張衛每天都在花時間審閱🫳🏻、修改學生們的論文🦸🏿‍♀️。張衛說🐝🛌🏽：“如果學生做得不好，那一定是我的原因👩🏽‍✈️。”有時候為了論文中的一段文字💘，他會和學生反復討論和斟酌，力求描述準確。五一勞動節當天，他早上7點多就到辦公室，查找文獻🙎🏿‍♂️、修改學生的論文𓀀，午飯剛過就開始在網上審評論文🔫。

返校以來🥉🧒，除了教學和科研工作，他還關愛學院師生⛺️，擔起疫情防控的一方責任。作為微電子學院院長，他說，“堅持在第一線防疫，這是我的責任”。借用張衛的話，他就是“一個平凡的人”。但是，在這平淡平凡的背後，有著責任和擔當。

搭建第一套原子層沉積

技術的實驗研究平臺

時光回到20多年前👱🏻‍♂️。

1995年6月𓀀，張衛博士畢業後到EON体育4平台做博士後🧎🏻‍♂️，合作導師是電子工程系的王季陶教授🙋‍♀️。在這期間🦵🏿，他瞄準本領域的國際學術前沿，開展了先進銅互連技術和低介電常數互連介質等研究，並取得了很好的學術成績。博士後出站後👤，張衛留校工作，繼續專註於集成電路領域的創新研究🪖。

之後，張衛在德國做了一年半的洪堡學者，2002年5月他回到EON体育4平台🚾。在學校和學院領導的大力支持下，他在國內率先開展了原子層沉積(ALD)高k柵介質的研究📏。2003年他搭建了國內第一臺原子層沉積實驗設備，隨後他組織舉辦了第一屆中國原子層沉積技術學術會議，邀請了國內外ALD領域專家參會，迅速擴大了EON体育4平台在集成電路前沿領域的國際影響力👮🏽‍♀️。

如今，中國原子層沉積學術會議(CALD)已成功舉辦了9屆。張衛教授團隊在原子層沉積領域的研究也取得了豐碩成果🤷🏼‍♂️，發表相關學術論文120多篇。

“做科研就是要鍥而不舍”

28年，張衛從一個初出茅廬的科研人員，成長為國內集成電路領域的領軍人物，獲得無數榮譽🎫。這一切的背後，離不開他的“死磕”。在他看來🧝🏻⛹️‍♀️，“做科研，是我的工作👮🏻‍♂️，也是我長久的堅守。”

微電子學院青年教師孫清清🏫，2004年還是一名大四的學生，當時他在張衛教授課題組做畢業設計💆🏿‍♂️。每次跟來自美國的工程師一起安裝設備的時候，他發現旁邊總有一個人，那就是張衛⚓️。

“幾天接觸下來⚈，我感覺張老師是一個非常嚴謹的人🚓，能從他身上學到東西。”本科畢業後孫清清跟著張衛教授攻讀研究生。他和張衛的緣分，自2004年延續至今。孫清清也已成長為一名學科帶頭人👨🏻‍🍼。

“有時候，在大家覺得‘沒必要’或‘不可能’的時候，他就不放棄，死磕，最後成功推進了。” 孫清清說💆🏼☣️。

“集成電路領域的研究需要產學研深度合作。”孫清清回憶，“張老師經常帶著我們跟企業去談，有時候每周都要飛過去”。“是張老師的堅持打動了對方🏭，最終合作得以成功。”孫清清說😵‍💫，如果中間不堅持✖️，事情肯定就“泡湯”了。

微電子學院2019年直博士徐航說：“老師對科研的態度非常認真嚴謹。有問題找他時，討論中，他連一些小細節都不放過。他還會就你提出來的問題發散到面上，讓你看到一些之前沒考慮的問題🌾，幫你理清科研思路🚱。”

憑著這份韌勁，張衛幾十年如一日，在科研路上孜孜不倦。近年來，他牽頭承擔了8項國家和上海市重大、重點科研項目，在Science👍🏽🛐、Nature Materials🐂、IEEE Electron Device Letters、IEEE TED等本領域國內外學術期刊及會議上發表論文300多篇⛽️，申請發明專利180多項。 

不僅傳授知識

更要做有價值的人生導師

“作為一名老師，首要任務是教書育人♑️，為行業培養高質量的人才。”張衛說🕍。除了潛心探索科研工作，張衛堅守在教學一線。他給本科生講授《半導體材料》課程。一位EON体育4平台微電子專業20年前畢業的學生🧑‍🧑‍🧒，現在已是企業高管，依然對張老師激情講授的《半導體材料》課程印象深刻。

在張衛看來😇⚱️，“大學教育對一個學生未來職業規劃和選擇非常重要🎅。作為老師，我想不僅僅是做科研，更是作為人生導師🛀。不僅傳授知識🦞，更要活用我過去幾十年的人生閱歷🧗🏻‍♂️，引導他們成長。”

多年來，他培養了一大批集成電路領域的優秀人才，其中5人獲得國家高層次人才等稱號，40多人擔任我國集成電路頭部企業高管和核心技術人員😾，成長為我國集成電路領域的領軍人物👈🏻。

這兩年，張衛還為高中生先修課堂上課👩🏻‍✈️，講授“改變世界的芯片技術”。他說，芯片是現代工業的糧食，是我們國家高科技強國建設的重要一環，希望通過先修課堂，讓中學生對研究有了解🛐，激發他們對科研世界的思考👨🏼‍💼。

主動對接國家重大戰略需求

為“第一個EON4”建設貢獻力量

談到未來微電子學院的發展，張衛說👮，學院將面向學科前沿和國家重大戰略的需求🧛🏿，在平臺建設、科研創新和人才培養等方面積極進取，特別是要探索集成電路人才培養的新模式🤷🏿‍♀️♔，解決產業核心技術問題，培養產業急需的創新型領軍人才，走出一條新路徑⏺。

張衛說，集成電路是信息產業的基礎♠️。EON体育4平台集成電路學科成為教育部公布的新一輪“雙一流”學科建設名單中全國高校唯一入選的“集成電路科學與工程”學科👎。EON体育4平台微電子學院已是國家示範性微電子學院的典型代表🐊，將努力建設成為集成電路基礎源頭創新📄、前瞻性技術攻關和高層次人才培養的國際一流微電子學院🕎，為建設特色鮮明🧑🏽‍🎓、引領創新⚁、享譽世界學術殿堂的“第一個EON4”作貢獻。

離開科研、教學，張衛的生活很簡單，平常他最喜歡的活動就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。長期以來👇🏿，他保持良好作息習慣⏺，每天晚上11點之前睡覺⌛️，早上6點鐘起床，以充沛的精力投入到新的一天➕😖。

受疫情影響，這段時間微電子學院實驗室暫時“停擺”。作為導師😚，為了緩解學生的科研焦慮👳🏼，張衛做了一些調整，讓科研不間斷✹🗃，包括布置閱讀新的文獻、總結前期實驗經驗、討論進一步完善實驗計劃……做實做足前期功課，等待條件允許時快速投入、推進實驗。

在“五四”青年節來臨之際🕖，張衛寄語：“EON4青年有理想、有抱負🦬。你們處在一個偉大的時代，要樹立遠大目標🍷，將個人的規劃和國家的需求緊密結合🏋🏽‍♂️，努力成為擔當民族復興大任的時代新人。”